德国BMT WLI白光干涉仪
采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量，评估和显示。装配不同的显微物镜，测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。
ACM 600 使用特殊的微透镜扫描盘，使采集的单个测量点相互平行。ACM 600目前是商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比，微透镜扫描盘使光学系统反应快速，所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的独特之处在于采用了LED作为光源，避免了使测量头发热，因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘，可以快速转换物镜。
检测物件的设定和测量**过程可以通过一个**的监视器观察。测量软件基于** XP操作系统编制，并提供所有标准的评估程序。
仪器结构紧凑，耐用，特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后，仪器可作为普通的显微物镜使用。
主要用途：
粗糙和光滑表面的测量和显示
亚微米范围内的微观形貌测量
金相测量
非接触式表面轮廓的计量
主要特点
0,1mm2到0,7mm2视场
采用钉合方式扩大视场
配置物镜切换盘
确定垂直分辨率来设定测量时间
横向分辨率可达1祄，垂直分辨率可到5 nm
具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统
**自动数据评估
实验室和在线两用设计
主要优点：
高**轮廓复现，对物体三维结构快速，非接触式的定性和量化
测量结果与材料表面性能无关
根据用户需求配置系统和软件
无人干预**自动测量过程
将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用
采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描
软件:
** XP 操作系统
测量和评估软件包括下列功能：
水平调整，图像缩放， 轮廓线的提取，毛刺的剔除, 过滤，数学计算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度参数，面积的测定，斜度和波度的分布状态及其它。
用户特定要求的计算方法
技术数据：
共焦显微镜头
标准规格配置50x/0.8物镜
带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器
光源: LED
寿命 h: > 50,000小时
采用步进电机时的测量范围mm：50mm
采用压电执行器件时的测量范围µm: 100/150µm
垂直分辨率 nm: 5nm
横向分辨率µm: 1µm
工作距离mm: 0.66mm
视场µm: 370 x 280µm
256个高度台阶的测量时间s: 约 30秒
重量kg：约12kg
测量工作台
X、Y、Z每轴位移mm: 50mm
小步距µm : 1µm